宸微设备作为迈为股份子公司，于 2022 年 10 月成立，是一家
集机械设计、电气研制、软件开发、精密制造于一体的装备制造
商。公司着眼半导体行业，研发、制造、销售智能化高端装备，主
要产品覆盖半导体生产前道。
公司秉持以自主研发与技术创新实现核心设备国产化的信念，
以行业***技术水平为标准，持续探索，为客户和市场提供性能优
越、高生产效率的设备解决方案。
研发总部位于苏州吴江经济开发区，共享产业园，含盖超市、
健身房、小吃街、咖啡厅等设施。该项目占地面积 285 亩，总建
筑面积超过 43.8 万平方米，投资超过 23 亿元。
宸***在上海浦东拥有独立产权办公楼作为研发分部。