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岗位职责
1、负责研发设备项目的调试及新硬件工艺的探索、研发、测试;
2、参与设备研发方案的制定;
3、优化设备各模块的硬件及工艺,如加热器、离子源、多弧阴极、磁控阴极、真空等;
4、优化各模块的电源参数及工艺参数,如偏压电源、磁控溅射电源、弧电源、HiPIMS电源、离子源电源、电磁线圈等;
5、探索新硬在镀膜系统的应用,如射频离子源、微波离子源、磁控阴极、多弧圆形阴极、多弧矩形阴极等;
6、负责开发项目的数据整理、及研发项目报告;
7、上级领导安排的其它工作事项。
任职要求
1、熟悉PVD磁控溅射、多弧离子镀膜原理;
2、具备镀膜源磁控阴极、多弧阴极的使用经验;
3、熟悉阴极电磁、永磁场的使用与开发;
4、精通真空镀膜中等离子体加热、刻蚀、沉积环节的工作原理;
5、掌握镀膜电源的应用,如偏压电源、磁控溅射电源、弧电源、HiPIMS电源等;
6、本科及以上学历,材料物理、机械类相关专业。