四川开物智能装备有限公司专注于高端干式真空泵及相关真空零部件系统产品的研发设计生产及服务，服务于光伏、半导体及泛半导体、液晶显示、高端材料制备领域制程。干式真空泵及相关真空零部件系统产品是光伏/半导体及泛半导体/液晶显示产线制程环节的核心附属设备：其广泛应用于单晶拉晶、真空传送、 刻蚀 、PVD、CVD、ALD、离子注入、离子清洗、外延、封装等清洁或严苛制程。