光科芯图（北京）科技有限公司成立于2022年5月18日，注册地为北京经济技术开发区，注册资本3.55亿元。光科芯图由集成电路领域知名专家联合国内半导体设备企业和投资机构发起设立，主要股东包括亦庄国投、红山科技、兴橙资本等。
光科芯图拥有国际化的专业半导体团队，研发团队以毕业于国内外名校的博士硕士为主。公司面向半导体产业生产制造需求，采用自主研发的创新性技术，开展新型曝光设备研发、生产和销售。