浙江启尔机电技术有限公司是国内唯一从事光刻机浸没头研发的公司，由浙大IC装备团队在浙江大学和02专项的支持下创立，是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高科技企业。该团队自2004年以来，在国家863计划、国家02重大专项以及光刻机整机企业的持续支持下，对光刻机浸液系统开展了十余年的基础研究和技术攻关，已获得授权发明专利100余项，是国产光刻机浸液系统的定点研发团队，也是目前全球第三家具有光刻机浸液系统研发能力的单位。公司在青山湖科技城建设光刻机浸液系统产品研制与小批量生产基地，预计2019年1月正式入驻。未来，浙江启尔将专注于“光刻机浸液系统”的产品研制，矢志成为我国半导体装备产业的核心企